روش های زیادی برای تهیه لایه نازک سیلیکونی آمورف وجود دارد پنل های خورشیدی . اینها عبارتند از کندوپاش واکنشی، PECVD، LPCVD، و غیره. گاز واکنش دهنده siH4 با H2 رقیق شده است. زیرلایه ها عمدتاً شیشه و ورق های فولادی ضد زنگ هستند و از لایه های سیلیکونی غیر عیار ساخته شده از آنها می توان برای به دست آوردن سلول های تک اتصالی و سلول های خورشیدی پشت سر هم از طریق فرآیندهای سلولی مختلف استفاده کرد.

سلول های خورشیدی سیلیکونی آمورف به دلیل راندمان تبدیل بالا، هزینه کم و وزن سبک، پتانسیل بالایی دارند. اما در عین حال به دلیل پایداری کم، مستقیماً بر کاربرد عملی آن تأثیر می گذارد. اگر بتواند مشکل ثبات را بیشتر حل کند و نرخ تبدیل را بهبود بخشد. سپس سلول های خورشیدی سیلیکونی آمورف بدون شک یکی از محصولات اصلی توسعه سلول های خورشیدی هستند.

سلول های خورشیدی لایه نازک چند ترکیبی به منظور یافتن جایگزینی برای سلول های سیلیکونی تک کریستالی، مردم سلول های خورشیدی از مواد دیگر را علاوه بر سلول های خورشیدی لایه نازک سیلیکونی پلی کریستالی و سیلیکونی آمورف ساخته اند. اینها عمدتاً شامل ترکیبات گروه III-V گالیم آرسنید، سولفید کادمیوم، تلورید کادمیوم و باتری‌های فیلم نازک سلنید مس ایندیم هستند. در میان باتری های فوق، اگرچه راندمان باتری های لایه نازک پلی کریستالی پلی کریستالی کادمیم تلوراید و سولفید کادمیم بیشتر از سلول های خورشیدی لایه نازک سیلیکونی آمورف است، اما هزینه کمتری نسبت به باتری های سیلیکونی تک محصولی دارد و به راحتی می توان آن را به کار برد. تولید انبوه است، اما از آنجا که کادمیوم بسیار سمی است، باعث آلودگی جدی محیط زیست می شود، بنابراین، ایده آل ترین جایگزین برای سلول های خورشیدی سیلیکونی کریستالی نیست. ترکیبات گالیم آرسنید III-V و باتری های لایه نازک سلنید مس ایندیم به دلیل راندمان تبدیل بالا مورد توجه گسترده ای قرار گرفته اند.3